ZERNIKE动态移相测量系统主要是通过在电压作用下产生一定的伸缩变形,带动被测件产生微小的平移,改变光程形成干涉,然后通过ZERNIKE干涉条纹分析软件还原被测件的波面信息。
特点: 应用:
高精度 高标准的表面形貌
高分辨率 光学薄膜
高灵敏度 光学波导
高稳定性 光学器件测量等
重复性好
同时泽尼克定制移相系统适配性强,可兼容国内外不同厂家不同口径型号的干涉仪,可显著提高产品精度和生产效率。
ZERNIKE动态移相测量系统主要是通过在电压作用下产生一定的伸缩变形,带动被测件产生微小的平移,改变光程形成干涉,然后通过ZERNIKE干涉条纹分析软件还原被测件的波面信息。
特点: 应用:
高精度 高标准的表面形貌
高分辨率 光学薄膜
高灵敏度 光学波导
高稳定性 光学器件测量等
重复性好
同时泽尼克定制移相系统适配性强,可兼容国内外不同厂家不同口径型号的干涉仪,可显著提高产品精度和生产效率。